北京經濟技術開發區總工會與開發區科技局聯合組織開展2019年度職工創新工作室評選工作,根據專家組綜合評審,京儀裝備何茂棟博士榮獲2019年度職工創新工作室稱號。

    何茂棟創新工作室成立于2018年,是以北京京儀自動化裝備技術有限公司高級工程師何茂棟博士為領軍人。工作室試驗區位于京儀裝備一層,按照標準化潔凈間等級進行設計和裝修,配備有專用的儀器設備和工業用電,可以開展產品調試、驗證、測試以及FAB現場環境模擬等功能,實驗區實施6S標準化管理,防護救護措施和現場環境符合職業健康安全的要求。

    何茂棟博士,中共黨員,北京航空航天大學控制工程專業碩士畢業,天津大學先進制造專業博士在讀,高級工程師,北京經濟技術開發區“新創工程.亦麒麟”科技創新領軍人才,2010及2018年分別獲中國機械工業科學技術獎三等獎;2011及2018年分別獲北京市科學技術獎三等獎;2010年獲北京市豐臺區科學技術獎一等獎;先后參與國家863項目“直徑6英寸半絕緣砷化鎵單晶生長技術研究”、國家科技重大專項2011ZX01006-001子項目“CZ-50高壓單晶爐”等項目的設計研發,多次榮獲京儀集團、北控集團科技成果獎及榮譽獎。

    何茂棟創新工作室是在半導體集成電路高端裝備領域以半導體工藝專用溫控裝置Chiller為研發目標的科研團隊。創新工作室共有成員16名,其中博士2人,研究生4人,本科7人,大專3人,具有高級工程師職稱3人、工程師職稱2人、助理工程師職稱2人,技師3人。創新工作室立足于半導體溫控領域高端裝備的研發與設計,所開發的Chiller系列產品適用于國內外主要半導體工藝設備廠商的產品,覆蓋了國內所有的8英寸及12英寸半導體晶圓加工線,該產品的成功開發打破了國外廠家的技術壟斷,并實現了批量生產應用,技術達到國際先進水平。

    創新工作室所開發的半導體專用溫控裝置Chiller,采用先進的預測控制算法、模糊PID控制算法、自適應控制算法對溫度進行精密控制,控制技術屬于國際領先水平。2019年創新工作室研制半導體生產線專用溫控裝置系統(Chiller)申報北京市高新技術成果轉化項目并獲得受理。


創新工作室-榮譽、資質名錄

創新工作室2018年參加天津大學學術會議及2018亞洲制冷與空調國際會議,發表論文2篇;

創新工作室已授權專利12項,發明專利實審中7項,專利局受理中6項;

軟件著作權7項;

“半導體專用溫控設備”2018年獲京儀集團科技成果獎一等獎;

“半導體生產線專用溫控系統裝置Chiller”2018年獲中國機械工業科學技術獎,三等獎;

“半導體生產線專用溫控系統關鍵技術研發及應用”2018年獲北京市科學技術進步獎,三等獎;

2018年北京市企業管理現代化創新成果獎二等獎;

2018年,獲北京經濟技術開發區“新創工程.亦麒麟”科技創新領軍人才;

“半導體專用溫控設備”,2018年,獲京儀集團科技成果獎一等獎;

“半導體專用水冷機組”,2014年,獲北京控股集團“工人先鋒號”;

2015年,獲北京京儀集團先進生產工作者;

2015年,獲北京自動化技術研究院先進生產工作者。


    何茂棟創新工作室將秉承京儀裝備“致力成為國內集成電路制造行業最具價值的設備和服務供應商”的宗旨,加快推進技術創新、產品創新,不斷提升核心競爭力,讓“中國人自己的半導體附屬設備”走向世界。


2019年12月10日

熱烈祝賀京儀裝備何茂棟博士榮獲北京經濟技術開發區職工創新工作室稱號

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